質量流量控制器 QX05-CS200A   

 儀器簡介：
CS200A:
數字式氣體質量流量計/流量控制器，高精度，多氣體多量程，自動調零，量程5sccm-50slm 
橡膠密封，通訊方式：模擬0-5V、模擬0-10V、數字485、DeviceNet
質量流量控制器 QX05-CS200A   
主要特點：
1.數字化，橡膠密封 
2.高精度，快響應 
3.極低零漂及溫漂 
4.良好的兼容性
  
技術參數：
產品型號
CS200-A型
產品類型
高精度型,快響應型,數字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
流量量程
5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,
1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm
產品精度
±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)
重復精度
±0.2% FS
線性
±0.5% F.S.
響應時間
≤1sec
工作溫度范圍
(5~45)°C
耐壓
3MPa
密封材料
氟橡膠Viton
輸入輸出信號
(0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus
電源
±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC
閥類型
常開(流量量程≤30slm)或常閉
溫度系數
零點: ≤±0.05% F.S/℃；
調節時: ≤±0.1% F.S/℃ 流量規格≤30SLM
調節時: ≤±0.2% F.S/℃ 流量規格＞30SLM
零點飄移指標
＜0.6%F.S. per year without autozero
電氣連接
Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male
工作壓差范圍
(0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）,(0.2～0.45) MPa（30slm＜F.S.）
漏率
1×10-10 Pa?m3 / sec He
標準接頭形式
雙卡套1/4”(滿量程≤30slm),雙卡套1/8”(滿量程≤5slm),雙卡套Φ3 (僅適用于滿量程≤5slm產品),雙卡套Φ6(僅適用于滿量程≤30slm產品),雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,VCR1/4”,VCO1/4”
表面化學成分
- 無 -
表面粗糙度
25μinch
抗電磁干擾
CE
重量
1Kg